Michell Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的頭個(gè)適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。
Michell Pura下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)

亮點(diǎn)

技術(shù)指標(biāo)
傳感器 傳感器類(lèi)型 密析爾陶瓷濕度傳感器 量程 -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C) 精度 ±1°C   -40 ~ -60°C; ±2°C   -61 ~ -100°C; ±4°C   -101 ~ -120°C (估算值) 分辨率 0.1°C        -40 ~ -79.9°C; 1°C           -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C 壓力 *低 10-9 torr; *大 24 MPa 氣體流量 1 ~ 5 Nl/min 電氣
電源	通常 24 V DC, *低10 V ~ *高28 V , *大電流 25 mA
輸出	4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由專(zhuān)用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) *大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯(cuò)狀態(tài)	標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機(jī)械性能
傳感器套筒	不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口	Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置	Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預(yù)留管路空隙 底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm Michell Pura Sensor 型: 適用于用戶(hù)提供的 ?" VCR 端口中
尺寸	Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量	Premium 或 OEM 型: 450g Michell Pura Sensor 型: 180g
包裝	Michell Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作